近日,学院控制科学与工程学科2023级博士研究生吴霜、2021级博士研究生闫文辉依托“智能惯性传感与系统”团队(团队负责人王小旭教授),以共同第一作者在国际著名期刊《Nature Communications》发表了题为“A μGal MOEMS gravimeter designed with free-form anti-springs”的研究论文,标志着学院在MOEMS相对重力仪领域取得重要进展。

该研究提出了计算智能驱动的自由几何多级设计方法,成功突破了小型化约束下超灵敏结构的设计难题,该设计方法为解决复杂结构极致性能的设计问题提供了解决思路,也为微纳光机电传感器件设计提供了设计工具革新;MOEMS相对重力仪原型样机融合了自由几何反弹簧式加速度敏感单元和微光栅腔式位移测量单元,实现了片上结构中世界领先的固有频率(~1 Hz)和加速度-位移灵敏度(~100 μm/Gal),兼具小型化、高性能和工艺宽容的优势,在工业、国防和地球物理学中均有着广泛应用前景。
个人简介:
吴霜,自动化学院2023级博士研究生,主要研究方向为MEMS加速度计结构设计;闫文辉,自动化学院2021级博士研究生,主要研究方向为MEMS加速度计系统封装与应用。导师为学院王小旭教授。
(审核:王小旭)